Vorhaben
Ultrahochreines Pentachlordisilan: Technologischer Prozess und Methode zur Spurenanalytik (SilaTrace), Gemeinschaftsvorhaben von PSC Polysilane Chemistry GmbH und Fraunhofer CSP
Zeitraum
1. November 2018 – 31. Oktober 2021
Projektziel
- Hochreines Pentachlordisilan (PCDS) als attraktives Produkt für die Mikroelektronik-Industrie
- Für neue Technologiegenerationen in der Mikroelektronik werden innovative Precursoren für Abscheidung von Siliziumschichten bei sehr niedrigen Temperaturen benötigt.
- Entwicklung eines kostengünstigen Herstellungsprozesses
- Bereitstellung einer zuverlässigen Analytik