Vorhaben

Ultrahochreines Pentachlordisilan: Technologischer Prozess und Methode zur Spurenanalytik (SilaTrace), Gemeinschaftsvorhaben von PSC Polysilane Chemistry GmbH und Fraunhofer CSP

Zeitraum

1. November 2018 – 31. Oktober 2021

Projektziel

  • Hochreines Pentachlordisilan (PCDS) als attraktives Produkt für die Mikroelektronik-Industrie
  • Für neue Technologiegenerationen in der Mikroelektronik werden innovative Precursoren für Abscheidung von Siliziumschichten bei sehr niedrigen Temperaturen benötigt.
  • Entwicklung eines kostengünstigen Herstellungsprozesses
  • Bereitstellung einer zuverlässigen Analytik