OCTS
Wir bieten Octachlortrisilan in Elektronikqualität an. Das Material eignet sich als Prekursor in CVD- und ALD-Anwendungen. Es bietet die Möglichkeit, Si und Si-Verbindungen wie SiC bei niedrigen Prozesstemperaturen abzuscheiden.
Wir bieten Octachlortrisilan in Elektronikqualität an. Das Material eignet sich als Prekursor in CVD- und ALD-Anwendungen. Es bietet die Möglichkeit, Si und Si-Verbindungen wie SiC bei niedrigen Prozesstemperaturen abzuscheiden.